微電子潔凈室如何防范靜電？潔凈室防靜電加濕機(jī)

　　微電子工業(yè)對(duì)一個(gè)國(guó)家的意義很重大，現(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)離不開(kāi)微電子的支持，特別是在高科技行業(yè)，微電子更是重中之重。要想保證微電子產(chǎn)品的質(zhì)量跟，就需要在潔凈室里面生產(chǎn)，也就是我們通常說(shuō)的潔凈車間，而且還需要做好防靜電方面的工作，因?yàn)樵骷?、設(shè)備、甚至墻面或地板上都可能隨時(shí)產(chǎn)生靜電荷，有了靜電荷就有了靜電吸附的現(xiàn)象，導(dǎo)致潔凈室的潔凈度的下降。同時(shí)靜電放電會(huì)擊毀機(jī)床微電子產(chǎn)品，導(dǎo)致產(chǎn)品良品率下降。

　　潔凈室防靜電需要從多方面進(jìn)行，不是說(shuō)單一的方法就可以防范的。首先就是在建造潔凈室的時(shí)候就需要選用不易產(chǎn)生靜電，或產(chǎn)生靜電能迅速泄漏的材料。設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)已經(jīng)不局限于防靜電地板了，對(duì)潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)等都考慮在內(nèi)。或者是在一些會(huì)產(chǎn)生靜電電荷的地方采用噴涂靜電涂料、防靜電噴劑等來(lái)作為輔助措施或補(bǔ)救方法來(lái)克服靜電，確保潔凈室不會(huì)有靜電產(chǎn)生。然后就是進(jìn)入潔凈室的人員必須穿防靜電潔凈服、穿戴防靜電手套，穿防靜電鞋等來(lái)消除靜電。運(yùn)輸周轉(zhuǎn)中的工具如小車，箱子也應(yīng)采用防靜電的產(chǎn)品。

　　除此之外，還需要控制好潔凈室的溫濕度，把溫度控制在23℃，把空氣濕度控制在50±3%RH之間，即可快速消除靜電電荷，起到防范靜電的目的。要想保證潔凈室的空氣濕度，就需要使用杭井干霧加濕機(jī)在空氣干燥的時(shí)候來(lái)加濕，這種采用超聲波霧化振蕩技術(shù)，霧化顆粒細(xì) 、使用能耗低 、霧化能效高，加濕速度快，用于潔凈室加濕控濕防靜電效果很好。